无尘室洁净工程的气流主要分为三种,乱流式、层流式及复合式,前两者都有各自的优点及缺点,复合式是将前两者结合在了一起,因此综合了各自的优点,弥补了缺点,是目前无尘室洁净工程比较理想的气流方式。
1.乱流式:气流非直线型运动而呈现不规则之乱流或者涡流的状态。
优点:构造较为简单、成本低,无尘室洁净工程的扩充比较容易,在一些特殊场所,可配用无尘工作台,提高洁净室的等级。
缺点:微尘粒子受乱流影响在室内空间飘浮不容易排出,易污染成品。再就是如果系统停止运转再此激活的话,要想达到同样洁净度,耗时相当长。
2.层流式
层流式空气气流运动成均匀直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。
其形式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式:
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气,是比较理想的无尘室洁净工程气流形式。